G  – генератор рентгеновского излучения,
                                          
                                          
                                            F – формирователь  направленного
                                          
                                          
                                            Рентгеновского  пучка на базе поликапиллярной  оптики,
                                          
                                          
                                            D1 – спектрометрический полупроводниковый
                                          
                                          
                                            детектор,
                                          
                                          
                                            D2 – юстировочный сцинтилляционный детектор,
                                          
                                          
                                            S1,S2 – щелевые диафрагмы,
                                          
                                          
                                            sample  – исследуемый образец.