G – генератор рентгеновского излучения,
F – формирователь направленного
Рентгеновского пучка на базе поликапиллярной оптики,
D1 – спектрометрический полупроводниковый
детектор,
D2 – юстировочный сцинтилляционный детектор,
S1,S2 – щелевые диафрагмы,
sample – исследуемый образец.